描述

SURF-CAL™ 粒径标准品用于扫描表面检测系统 (SSIS) 的粒径校准和监测。以下粒径与仪器制造商要求的校准粒径相对应。您应定期进行校准检查，并每周进行粒径和计数监测，以确保您的晶圆检测扫描仪与其他地点的扫描仪性能一致。所有聚苯乙烯微球均悬浮于 50 mL 瓶装的去离子过滤水中，浓度为 3 × 10⁸ 或 1 × 10¹⁰ 个/mL。标有 * 的粒径与 NIST 标准参考物质 (SRM) 中相应直径的粒径相似。以下所有聚苯乙烯微球的折射率均为 1.59（589nm，25℃）。每瓶可稳定保存 12 个月，并附有 NIST 校准证书和可追溯性证明。

通过在裸硅片和图案化晶圆上沉积 SURF-CAL 可溯源至 NIST 的 PSL（聚苯乙烯乳胶）微球，您可以对 KLA-Tencor、Hitachi、ADE 和 Topcon 的 SSIS 设备进行定期尺寸校准检查，并将您的晶圆检测扫描仪与其他位置的扫描仪进行比较。您还可以评估 SSIS 在制造过程关键阶段的性能。所有产品均悬浮于 50 mL 瓶装的去离子过滤水 (DI 水) 中，浓度为 3 x 10¹⁰ 个颗粒/mL 或 1 x 10¹⁰ 个颗粒/mL。这些 Surf-Cal 粒径标准品是聚苯乙烯微球，其粒径已通过差分迁移率分析仪 (DMA) 或其他尺寸排阻技术测定。

型号	浓度计数/毫升	粒子直径	尺寸分布	每瓶50毫升的价格
APPD-047	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.047μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
APPD-047B	1 x 10¹⁰颗粒/毫升	0.047μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
APPD-064	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.064μm	0.003μm	易武索取报价或添加到订单
APPD-064B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.064μm	0.003μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
APPD-083	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.083μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-083B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.083μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-092	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.092μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-092B	1 x 10¹⁰颗粒/毫升	0.092μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-100	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.100μm	0.003μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-100B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.100μm	0.003μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-125	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.126μm	0.003μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-125B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.126μm	0.003μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-155	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.155μm	0.003μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-155B	1 x 10¹⁰颗粒/毫升	0.155μm	0.003μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-200	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.202μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-200B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.202μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-204	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.204μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-204B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.204μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-215	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.220μm	0.003μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-215B	1 x 10¹⁰颗粒/毫升	0.220μm	0.003μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-305	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.304μm	0.004μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-305B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.304μm	0.004μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-365	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.360μm	0.005μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-365B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.360μm	0.005μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-500	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.498μm	0.006μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-500B	1 x 10¹⁰颗粒/毫升	0.498μm	0.006μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-809	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.809μm	0.006μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-809B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.809μm	0.006μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD-802	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	0.802μm	0.009μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD-802B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	0.802μm	0.009μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD1100	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	1.112μm	0.011μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD1100B	1 x 10¹⁰ 颗粒/毫升	1.112μm	0.011μm	$1,930.00 索取报价或添加到订单
AP PD1600	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	1.59μm	0.016μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD2000	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	2.01μm	0.019μm	易武索取报价或添加到订单
AP PD3000	3 x 10⁸ 颗粒/毫升	3.04μm	0.026μm	易武索取报价或添加到订单

测量方法：

为确保NIST可追溯性，这些产品的认证直径是通过透射电子显微镜或光学显微镜从NIST标准参考物质(2)转移而来。不确定度根据NIST技术说明1297（1994版）“NIST测量结果不确定度评估和表达指南”(4)计算。所列不确定度为扩展不确定度，覆盖因子为2 (K=2)。峰值直径的计算使用了粒径分布的±2σ范围。粒径分布计算为整个峰的标准偏差(SDS)。变异系数(CV)为标准偏差占峰值直径的百分比。半峰全宽(FWHM)分布计算为峰高一半处的分布，并以峰值直径的百分比表示。

1. “国家半导体技术路线图”，半导体行业协会（1999 年）

2. SD Duke 和 EB Layendecker，“利用电子显微镜对亚微米球形颗粒进行尺寸校准的内标法”，细颗粒学会（1988 年）

3. SEMI M52 — 130 纳米技术世代硅晶圆表面检测系统规范指南。

4. Barry N. Taylor 和 Chris E. Kuyatt，“评估和表达 NIST 测量结果不确定度的指南”。NIST 技术说明 1297，1994 年版，1994 年 9 月。

其他信息

型号

APPD-047、APPD-047B、APPD-064、APPD-064B、APPD-083、AP PD-083B、AP PD-092、AP PD-092B、AP PD-100、AP PD-100B、AP PD-125、AP PD-125B、AP PD-155、AP PD-155B、AP PD-200、AP PD-200B、AP PD-204、AP PD-204B、AP PD-215、AP PD-215B、AP PD-305、AP PD-305B、AP PD-365、AP PD-365B、AP PD-500、AP PD-500B、AP PD-809、AP PD-809B、AP PD-802、 AP PD-802B、AP PD1100、AP PD1100B、AP PD1600、AP PD2000、AP PD3000