NIST 标准参考物质粒度校准
NIST、标准参考材料、聚苯乙烯微球和珠子用于校准和污染晶圆标准,以验证 KLA 和 KLA-Tencor 晶圆检测系统的尺寸精度。
产品描述
NIST SRM,颗粒尺寸标准品,PSL球,尺寸校准
NIST SRM粒度标准是世界各地已知的校准标准,可用于需要NIST SRM(尺寸参考材料)尺寸标准且具有极其精确的尺寸,窄的峰尺寸和窄的标准偏差的应用。 它们可用于校准和验证各种粒子筛分设备,包括光散射仪,电子显微镜和差动迁移率分析仪。 它们对于校准表面扫描检查系统特别重要,该系统用于检测和表征硅晶片上的缺陷。 需要精确的参考粒子来开发和推进扫描系统,以实现高产量,具有成本效益的晶圆生产,这对于设备小型化至关重要。 参比颗粒也可用于提供用于测试气溶胶仪器的单分散(单峰)颗粒,可用于检查气溶胶动力学和评估颗粒检测器的响应。
模态直径的认证值:
60 nm SRM 1964 聚苯乙烯微球为 60.39 nm,扩展不确定度为 ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A 聚苯乙烯微球为 101.8 nm,扩展不确定度为 ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 聚苯乙烯微球为 269 nm,扩展不确定度为 ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 聚苯乙烯微球为 895 nm,扩展不确定度为 ± 5 nm。
使用差分迁移率分析进行测量,并且可以追溯到空气中的He-Ne激光波长632.807 nm,这是根据长度的基本标准确定的。
聚苯乙烯乳胶微球,20-900nm,聚苯乙烯乳胶颗粒 – 立即购买
聚苯乙烯乳胶微球,1um-160um,聚苯乙烯乳胶颗粒 – 立即购买
用NIST计算的线性尺寸校准球形直径。 使用球体代替不规则形状的颗粒,以最小化对形状敏感的激光扫描仪的响应。 这些标准品以水性悬浮液包装在5毫升滴管瓶中。 优化了颗粒浓度以易于分散和胶体稳定性。 这些球的密度为1.05 g / cm3,在1.59摄氏度下测得的589 @ 25 nm的折射率。
每个包装均包含NIST的校准和可追溯性证书,其中包括对校准方法及其不确定性的描述,以及化学和物理性质的表格。 还提供了《材料安全数据表》以及处理和处置说明。 PSL瓶子有编号,以方便售后技术服务和支持。
NIST SRM领域 | 60.4nm,101.8nm,269nm和895nm |
颗粒成分 | 聚苯乙烯乳胶,PSL球 |
粒子密度 | 0.625克/厘米3 |
折射率 | 1.59 @ 589nm(25°C) |
瓶尺寸 | 5毫升 |
到期日 | ≤24个月 |
添加剂 | 含有微量的表面活性剂 |
建议的存储温度 | 2 8°C |
瓶子尺寸和容量 | 5ml瓶 |
PSL Sphere,NIST SRM,60.4nm,101.8nm,269nm,895nm | ||||
产品零件号 |
公称直径 |
认证平均峰 |
标准开发和简历 |
固体含量 |
AP1690 |
895纳米 |
895nm±5 nm |
0.7纳米 |
0.50% |
AP1691 |
269纳米 |
269nm±4 nm |
5.3纳米 |
0.50% |
AP1963A |
101.8纳米 |
101.8nm±1.1 nm |
0.55纳米 |
0.50% |
AP1964 |
60.4纳米 |
60.39nm±0.63 nm |
0.31纳米 |
0.50% |