NIST标准参考物质粒度校准

NIST SRM（美国国家标准与技术研究院）粒度标准是全球公认的校准标准，适用于任何需要NIST SRM（粒度参考物质）粒度标准的应用，其粒度分布极其精确，粒径峰值窄，标准偏差小。这些标准可用于校准和验证各种粒度分析设备，包括光散射仪、电子显微镜和差分迁移率分析仪。它们对于校准表面扫描检测系统尤为重要，该系统用于检测和表征硅片上的缺陷。精确的参考颗粒对于开发和改进扫描系统至关重要，而扫描系统对于实现高通量、低成本的晶圆生产至关重要，这对于器件小型化至关重要。这些参考颗粒还可用于提供单分散（单一粒径峰值）颗粒，以测试气溶胶仪器，并有助于研究气溶胶动力学和评估颗粒检测器的响应。

模态直径的认证值：

60 nm SRM 1964 聚苯乙烯微球的粒径为 60.39 nm，扩展不确定度为 ± 0.63 nm；

100 nm SRM 1963A 聚苯乙烯微球的粒径为 101.8 nm，扩展不确定度为 ± 1.1 nm；

269 nm SRM 1691 聚苯乙烯微球的粒径为 269 nm，扩展不确定度为 ± 4 nm；

895 nm SRM 1690 聚苯乙烯微球的直径为 895 nm，扩展不确定度为 ± 5 nm。

测量采用差分迁移率分析法进行，可追溯到空气中的 He-Ne 激光波长 632.807 nm，该波长是相对于长度的基本标准确定的。

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