描述
二氧化硅微球、纳米颗粒、粒径标准和微珠
用于污染晶圆标准和药物输送的二氧化硅纳米颗粒尺寸标准。 MSDS:二氧化硅微球、纳米颗粒 二氧化硅纳米颗粒干粉是粒径标准品,呈球形。硅微珠是高精度、单分散、可溯源至美国国家标准与技术研究院 (NIST) 的粒径标准品,粒径范围从 40 纳米到 2.5 微米 (2500 nm)。粒径为 40 nm 至 102 nm 的二氧化硅颗粒悬浮于乙醇中以保持单分散性,而粒径为 105 nm 至 2500 nm 的二氧化硅颗粒则悬浮于 15 ml 去离子水溶液中。二氧化硅颗粒的折射率与聚苯乙烯乳胶球非常接近,因此可用于使用高功率激光的晶圆检测系统、透射电镜 (TEM) 和扫描电镜 (SEM) 进行粒径校准。二氧化硅粒径标准品可用于药物输送,并用于制备晶圆校准标准品和二氧化硅污染晶圆标准品。二氧化硅微珠的包装规格为 5 克和 10 克,也可根据行业需求提供任意体积。晶圆检测系统 (SSIS),例如 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、TopCon、ADE 和 Hitachi 晶圆检测系统,可以使用二氧化硅 (SiO2) 颗粒进行尺寸校准。二氧化硅纳米球的粒径范围为 40 纳米至 2 微米,用于校准相应晶圆检测系统和激光粒子计数器的尺寸响应曲线。波特兰水泥、化学机械抛光 (CMP) 浆料和药物输送等行业使用粒径范围为 30 纳米至 2 微米的二氧化硅颗粒。二氧化硅微珠经过生长,具有精确且可重复的尺寸峰值。二氧化硅纳米颗粒呈球形,并人工制成特定直径,而大多数其他工艺颗粒则呈非球形且尺寸不均匀。
二氧化硅干粉:100nm 至 25000nm,典型粒径分布为 3%,无添加剂,可追溯至 NIST,尺寸经过认证。








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