Surf-Cal，粒径标准品，50ml 体积，预混合至 1x10E8 和 1x10E10 浓度/ml

SURF-CAL™ 粒度标准用于扫描表面检测系统 (SSIS) 的尺寸校准和监测。 以下粒径对应于仪器制造商要求的校准粒径。 您应该完成定期校准检查和每周尺寸和计数监控，以确保您的晶圆检测扫描仪与其他位置的扫描仪进行比较。 所有聚苯乙烯微球悬浮在 50mL 瓶体积的去离子过滤水中，浓度为 3 × 10 E8 或 1 × 10 E10 颗粒/mL。 标有 * 的尺寸与该直径的 NIST SRM 颗粒相似。 以下所有聚苯乙烯微球的折射率为 1.59 @ 589nm (25C)。 每瓶可稳定保存 12 个月，并附有校准证书和 NIST 可追溯性证书。

通过在裸硅和图案晶圆上沉积 SURF-CAL、NIST 可追溯 PSL（聚苯乙烯乳胶）球体，您可以对 KLA-Tencor、Hitachi、ADE、Topcon SSIS 工具执行定期尺寸校准检查，并将您的晶圆检测扫描仪与以下扫描仪进行比较其他地点。 您还可以在制造过程的关键阶段评估 SSIS 的性能。 所有产品均以 50 x3 e10 颗粒/mL 或 10 x1 e10 颗粒/mL 的浓度悬浮在 10 mL 瓶中的去离子过滤水（去离子水）中。 这些 Surf-Cal 粒径标准品是聚苯乙烯微球，已通过差分迁移率分析仪 (DMA) 或其他尺寸排阻技术确定了尺寸。