Applied Physics 美国
聚苯乙烯乳胶珠，粒度标准
Applied Physics 美国：PSL 球、聚苯乙烯微球、粒径标准
Applied Physics 美国提供 PSL Spheres 和聚苯乙烯珠粒作为气溶胶仪器校准的粒径标准。 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2、TopCon、ADE 和 Hitachi 等晶圆检测工具也需要尺寸校准，这是通过使用聚苯乙烯乳胶球来完成的。 PSL 球体、聚苯乙烯微球体和珠子的尺寸从 20 纳米到 10 微米不等，用于校准相应晶圆检测系统和激光粒子计数器的尺寸响应曲线。 从 20 纳米到大约 5 微米的 PSL 球通常用于校准激光粒子计数器的尺寸响应。 聚苯乙烯微球可用于生产校准晶圆标准和粒子晶圆标准，用于校准 KLA-Tencor Surfscan 工具和较旧的 Tencor Surfscan 工具的尺寸响应
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可致电订购聚苯乙烯乳胶珠 Applied Physics 在（719）428-4042。
晶圆检测系统，称为扫描表面检测系统，SSIS，最著名的是来自 KLA-Tencor 和 Hitachi，使用 PSL 晶圆标准进行校准，这些标准是沉积有特定尺寸和窄尺寸分布的 PSL 球体的原始硅晶圆。 晶圆检测工具用于检测300mm、200mm、150mm晶圆表面的清洁度； 裸硅或薄膜沉积，晶圆表面。 SSIS 可以识别 PSL 球体和颗粒的 X/Y 位置，描述每个缺陷的大小，并总结晶圆表面的总颗粒数。 KLA-Tencor 晶圆检测系统，例如 Tencor 6200、6420 和 KLA-Tencor SP1、KLA-Tencor SP2 和 KLA-Tencor SP3，在整个半导体行业都用于此应用。 拓普康拥有 3000、5000 和 7000 系列晶圆检测系统。 Estek、ADE、Aeronca 和 Hitachi 也提供各种晶圆检测系统。 现在几乎所有生产的 SSIS 都能够以 30 nm 或更高的灵敏度检测粒径。 PSL Spheres 用于表示晶圆表面的粒度标准。 Applied Physics 提供尺寸从 20 纳米到 160 微米的 PSL 球体，用于尺寸校准、HEPA 过滤器测试等。可通过致电订购 PSL 球体 Applied Physics 在（719）428-4042。
PSL球与PSL晶圆沉积系统一起使用以生成PSL晶圆标准液，也称为粒子晶圆标准液。 无论哪种情况，在生产PSL晶圆标准之后，将其放在晶圆检查系统上，并通过单激光SSIS或双激光SSIS进行扫描。 将实际的PSL大小响应与SSIS大小响应进行比较。 如果两个峰不匹配，则必须校准SSIS。预混合的高浓度PSL Spheres适用于2300XP1系统，2300 NPT-1系统，2300NPT-2和M2300G3晶圆沉积系统。
PSL球，浓度1％。
预混合的PSL Spheres装在50ml瓶中，尺寸单分散（1尺寸分布），尺寸从47nm到950nm。 将此PSL溶液直接倒入雾化器或雾化器容器中。 预混合是购买聚苯乙烯乳胶珠的一种便捷方式，因为所有稀释均以非常均匀的方式完成，没有糊涂，没有大惊小怪，从而使用户无需使用烧杯，去离子水来混合聚苯乙烯乳胶珠和超声波托盘。 未混合的PSL材料装在15ml瓶中，其尺寸为单分散（1尺寸分布），通常浓度为1％。 这些PSL球有多种尺寸，但出于我们的目的，尺寸从20nm到4um。 在尝试通过上述PSL晶圆沉积系统之一进行沉积时，必须将PSL材料混合至适当的稀释度，否则将其浓缩或稀释得太弱而无法提供有效的结果。 CleanRoom Foggers 链接