Surf-Cal,粒径标准品,50ml 体积,预混合至 1x10E8 和 1x10E10 浓度/ml
SURF-CAL™ 粒度标准用于扫描表面检测系统 (SSIS) 的尺寸校准和监测。 以下粒径对应于仪器制造商要求的校准粒径。 您应该完成定期校准检查和每周尺寸和计数监控,以确保您的晶圆检测扫描仪与其他位置的扫描仪进行比较。 所有聚苯乙烯微球悬浮在 50mL 瓶体积的去离子过滤水中,浓度为 3 × 10 E8 或 1 × 10 E10 颗粒/mL。 标有 * 的尺寸与该直径的 NIST SRM 颗粒相似。 以下所有聚苯乙烯微球的折射率为 1.59 @ 589nm (25C)。 每瓶可稳定保存 12 个月,并附有校准证书和 NIST 可追溯性证书。
通过在裸硅和图案晶圆上沉积 SURF-CAL、NIST 可追溯 PSL(聚苯乙烯乳胶)球体,您可以对 KLA-Tencor、Hitachi、ADE、Topcon SSIS 工具执行定期尺寸校准检查,并将您的晶圆检测扫描仪与以下扫描仪进行比较其他地点。 您还可以在制造过程的关键阶段评估 SSIS 的性能。 所有产品均以 50 x3 e10 颗粒/mL 或 10 x1 e10 颗粒/mL 的浓度悬浮在 10 mL 瓶中的去离子过滤水(去离子水)中。 这些 Surf-Cal 粒径标准品是聚苯乙烯微球,已通过差分迁移率分析仪 (DMA) 或其他尺寸排阻技术确定了尺寸。
型号 |
浓度计数/ml |
粒子直径 |
尺寸分布 |
每 50 毫升瓶的价格 |
APPD-047 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.047μm | 0.004μm |
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APPD-047B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.047μm | 0.004μm |
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APPD-064 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.064μm | 0.003μm |
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APPD-064B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.064μm | 0.003μm |
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APPD-083 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.083μm | 0.004μm |
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AP PD-083B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.083μm | 0.004μm |
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美联社PD-092 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.092μm | 0.004μm |
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AP PD-092B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.092μm | 0.004μm |
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AP PD-100* | 3 x 108 颗粒/mL | 0.100μm | 0.003μm |
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AP PD-100B* | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.100μm | 0.003μm |
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美联社PD-125 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.126μm | 0.003μm |
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AP PD-125B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.126μm | 0.003μm |
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美联社PD-155 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.155μm | 0.003μm |
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AP PD-155B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.155μm | 0.003μm |
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美联社PD-200 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.202μm | 0.004μm |
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AP PD-200B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.202μm | 0.004μm |
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美联社PD-204 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.204μm | 0.004μm |
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AP PD-204B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.204μm | 0.004μm |
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美联社PD-215 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.220μm | 0.003μm |
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AP PD-215B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.220μm | 0.003μm |
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美联社PD-305 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.304μm | 0.004μm |
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AP PD-305B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.304μm | 0.004μm |
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美联社PD-365 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.360μm | 0.005μm |
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AP PD-365B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.360μm | 0.005μm |
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美联社PD-500 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.498μm | 0.006μm |
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AP PD-500B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.498μm | 0.006μm |
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美联社PD-800 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.809μm | 0.006μm |
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AP PD-800B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.809μm | 0.006μm |
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美联社PD-802 | 3 x 108 颗粒/mL | 0.802μm | 0.009μm |
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AP PD-802B | 1 x 1010 颗粒/mL | 0.802μm | 0.009μm |
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AP PD1100 | 3 x 108 颗粒/mL | 1.112μm | 0.011μm |
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AP PD1100B | 1 x 1010 颗粒/mL | 1.112μm | 0.011μm |
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AP PD1600 | 3 x 108 颗粒/mL | 1.59μm | 0.016μm | 易武 添加到购物车 |
AP PD2000 | 3 x 108 颗粒/mL | 2.01μm | 0.019μm | 易武 添加到购物车 |
AP PD3000 | 3 x 108 颗粒/mL | 3.04μm | 0.026μm | 易武 添加到购物车 |
测量方法:
为了确保 NIST 的可追溯性,这些产品的认证直径是通过透射电子显微镜或光学显微镜从 NIST 标准参考材料 (2) 转移而来的。 使用 NIST 技术说明 1297,1994 版“评估和表达 NIST 测量结果的不确定性指南”(4) 计算不确定性。 列出的不确定性是覆盖因子为二 (K=2) 的扩展不确定性。 使用约 ± 2s 范围的粒度分布计算峰直径。 大小分布计算为整个峰的标准偏差 (SDS)。 变异系数 (CV) 是一个标准偏差,表示为峰直径的百分比。 FWHM(半峰全宽)分布计算为峰高一半处的分布,以峰直径的百分比表示。
1. 《国家半导体技术路线图》,半导体行业协会(1999)
2. SD Duke 和 EB Layendecker,“通过电子显微镜校准亚微米球形颗粒尺寸的内标法”,Fine Particle Society (1988)
3。 SEMI M52 —用于指定X晶片130 nm技术的硅晶片表面检查系统的指南。
4. Barry N. Taylor 和 Chris E. Kuyatt,“评估和表达 NIST 测量结果不确定性的指南”。 NIST 技术说明 1297,1994 年版,1994 年 XNUMX 月。