二氧化硅颗粒晶圆标准品,二氧化硅颗粒尺寸标准品 by 约翰·特纳 | 2020 年 2 月 10 日 | 二氧化硅颗粒二氧化硅粒径标准 在当今的半导体计量实验室中,晶圆检测工具使用高功率激光扫描 200 毫米和 300 毫米硅晶圆,以检测小于 30 纳米的表面颗粒。 校准高激光功率扫描时...