by 约翰·特纳 | 2023 年 11 月 2 日 | 未分类
存储粒径小于 100 nm 的校准晶圆标准品的最佳方法是什么? 洁净室通常在 70°F、约 21°C 的温度下运行,湿度通常在 40% 左右。 当使用校准晶圆标准来校准您的晶圆检查时...
by 约翰·特纳 | 2020 年 2 月 10 日 | 二氧化硅颗粒
二氧化硅粒径标准 在当今的半导体计量实验室中,晶圆检测工具使用高功率激光扫描 200 毫米和 300 毫米硅晶圆,以检测小于 30 纳米的表面颗粒。 校准高激光功率扫描时...